Penelitian ini bertujuan menguji pengaruh religiusitas auditor terhadap kualitas audit dengan independensi dan profesionalisme sebagai variabel mediasi. Obyek penelitian adalah KAP di Kota Semarang dengan purposive sampling auditor minimal berpengalaman tiga tahun. Jumlah data observasi sebanyak 40. Hasil penelitian menunjukkan bahwa profesionalisme dan independensi berpengaruh langsung terhadap kualitas audit, sedangkan religiusitas tidak berpengaruh terhadap kualitas audit dan independensi auditor, namun berpengaruh terhadap profesionalisme auditor. Demikian pula profesionalisme auditor tidak berpengaruh terhadap independensi auditor. Pengaruh tidak langsung menunjukkan bahwa religiusitas auditor melalui profesionalisme auditor berpengaruh positif signifikan terhadap kualitas audit. Hal ini mengindikasikan tingginya religiusitas auditor melalui profesionalme auditor akan menghasilkan audit yang berkualitas.