Radioterapi merupakan salah satu terapi yang digunakan untuk pengobatan kanker nasofaring. Radioterapi memiliki sistem perencanaan yang disebut TPS (Treatment Planning System). Penelitian ini bertujuan untuk mengetahui cara pembuatan sistem perencanaan perawatan radioterapi pada kasus kanker nasofaring dan untuk mengetahui penilaian perencanaan perawatan radioterapi menurut ICRU 83. Tujuan dilakukannya TPS adalah untuk mencapai distribusi dosis yang optimal sesuai dengan dosis yang ditentukan untuk volume target dan dosis toleransi jaringan normal di sekitarnya sesuai dengan aturan ICRU. Dalam penelitian ini digunakan suatu perangkat lunak yaitu 3D Slicer. Dalam 3D Slicer dibuat TPS untuk kasus kanker nasofaring. Perencanaan radioterapi memiliki penilaian HI (Homogenity Index) yang tertuang pada ICRU No 83 yaitu HI yang conform adalah HI yang memiliki nilai mendekati 0. Pada perencanaan radioterapi digunakan variasi jumlah beam. Pada penelitian ini digunakan variasi jumlah beam yaitu 4, 5, dan 6 beam. Hasil yang diperoleh adalah DVH pada 4 beam lebih bagus daripada 5 dan 6 beam, serta nilai HI yang didapat tidak jauh berbeda dengan nilai HI referensi,namun HI pada 4 beam adalah yang paling menjauhi nilai HI reference yaitu 0,5. Pembuatan TPS menggunakan ICRU 83 dilakukan melalui evaluasi nilai HI.